基于MEMS工艺的微型制冷器

作者：童欣; 陈晓屏; 李家鹏; 夏明; 槐阳; 陈俊元

来源：红外技术, 2021, 43(02): 104-109.

• 微机电系统
• 微加工
• 微型制冷器

微机电系统MEMS(micro-electro-mechanicalsystem)是一种集合了微电子与机械工程技术的新型高科技装置,其制造工艺可以进行最小至纳米尺度的加工以及高度集成化的微型制造。其产品微小体积、高度集成化以及高性能高产热的特性也决定了其需要匹配相应的制冷解决方案,本文重点阐述了基于MEMS制造工艺并同时应用于MEMS产品的微型制冷器的工作原理、性能及发展趋势。分别分析了微型半导体制冷器以及微型节流制冷器各自的优势和不足,对微型制冷器的未来发展提出了建议。

• 单位
  昆明物理研究所