SiN_x钝化256元InGaAs短波红外焦平面探测器

作者：唐恒敬; 张可锋; 吴小利; 王妮丽; 陈新禹; 李雪; 龚海梅

来源：红外与激光工程, 2008, (03): 424-427.

• InGaAs
• 焦平面
• 探测器
• LBIC
• 非均匀性
• 串音
• 光敏区 InGaAs
• Focal plane array
• Detector
• LBIC
• Non-uniformity
• Crosstalk
• Photoactive area

为了改善器件的响应均匀性,通过优化台面制作与SiNx钝化工艺制备了高均匀性256元线列正照射InGaAs探测器,实现了该探测器与读出电路的互连,测试了器件的I-V特性、光谱响应、信号和噪声,并利用激光感生电流技术研究了探测器的串音和光敏感区的扩大问题。测试结果表明:在-0.5V偏压下,探测器的暗电流典型值约为0.9nA,平均峰值探测率为7.8×1011cm·Hz1/2·W-1,响应的不均匀性为4.8%。LBIC测试结果表明:光敏元区没有扩大,光敏元之间串音较小,并成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院研究生院; 中国科学院上海技术物理研究所