基于铂黑的微针电极阵列表面修饰方法

作者：谢凡; 徐庆达; 刘景全^*

来源：微纳电子技术, 2021, 58(02): 158-183.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2021.02.010

• 微针
• 电极阵列
• 铂黑
• 超声电镀
• 体内植入

由于微针电极阵列尖端直径小,空间分辨率高,可以记录单个神经元的放电活动,已成为神经信号记录的首选。但商用微针电极阵列的阻抗较高,降低电极阻抗有利于提高信噪比,改善记录信号质量。采用超声电镀铂黑的方法对微针电极表面进行修饰。测试结果表明铂黑修饰后的微针电极电化学性能优异,1 kHz处阻抗约为2.5 kΩ,相比裸金电极降低了两个数量级,电荷存储量增加到2.988×10-6 C。此外,机械超声测试和循环伏安扫描测试证明了电极具有良好的机械和电化学稳定性。这使铂黑修饰的微针电极阵列有望在体内植入研究中实现电极所需的高灵敏度及高空间分辨率。

• 单位
  上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室