基于Micro-LED器件光学测试标准的研究

作者：胡飞; 田文亚; 葛泳; 程骥; 黄秀颀^*

来源：微纳电子与智能制造, 2021, 3(04): 4-9.

DOI：10.19816/j.cnki.10-1594/TN.2021.04.004

• 微型发光二极管
• 测试标准
• 近场光强分布
• 光学均一性

本文基于Micro-LED器件阵列的制备与测试标准的研究，结合目前暂无规范测试标准的情况，尤其是针对单个微尺度芯片的亮度小于一般测量设备灵敏度区间时的特点，提出了一种针对Micro-LED光电特性优化的测试标准。该方法能够有效侦测Micro-LED器件阵列的电学参数和光学参数，尤其是光学均一性和近场光强分布，这对Micro-LED器件方向上国际标准的制定提供了重要的参考依据。