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摘要
本发明公开了一种用于引线键合机的散斑装置及其控制方法,该装置包括：T型三通镜筒、分光镜片、可调节透镜组、激光器、数字成像模块和图像记录处理模块；T型三通镜筒设有侧通段和直通段,直通段设有第一开口端和第二开口端,分光镜片位于三通镜筒内,与直通段光轴成45度夹角,数字成像模块记录包含待测线弧表面特征的激光散斑数字图片,可调节透镜组对照射在线弧上的激光光斑进行聚焦调节,图像记录处理模块接收在不同状态下的激光散斑数字图片,进行空间域与空间频域的转换与分析,得到空间形位变化信息以及待测线弧的空间形位连续变化趋势。本发明能把微小的空间尺度变化转换为空间频域的明显变化并测量出来,并提高了测量精度。
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