混合集成电路内部气氛研究

作者：肖玲; 徐学良; 李伟

来源：微电子学, 2005, (02): 157-160.

• 混合集成电路
• 内部气氛控制
• 聚合材料
• 可靠性 Hybrid integrated circuit
• Moisture and vapor control
• Polymer material
• Reliability

　文章介绍了混合集成电路内部气氛控制办法。由截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果。

• 单位
  重庆港宇高科技开发有限公司; 中国电子科技集团公司第二十四研究所