半导体用硅基特气乙硅烷的研究进展

作者：万烨; 刘见华; 赵雄; 赵宇; 常欣; 严大洲

来源：化工管理, 2018, (19): 53-56.

• 乙硅烷
• 硅基特气
• 提纯

乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并对乙硅烷的前景进行了分析和展望。

• 单位
  洛阳中硅高科技有限公司