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摘要
基于有限元法构建了CdZnTe晶体生长模型，分析了不同放肩角度下固液界面的形态演变。模拟结果表明，放肩角度变化导致了放肩区域内温度梯度分布的变化，进而改变了该区段的固液界面形态。在60°/90°/120°/150°四种放肩角度中，120°能在放肩段得到最平坦的固液界面。随着生长进行，不同角度下固液界面的形态差异逐渐减小，在主体生长中所有界面形状趋于一致。根据模型参数进一步实施了CdZnTe晶体的生长实验，结果表明，在90°/120°/150°三种放肩角度中，120°放肩时晶锭头部的单晶率更高。
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单位武汉高芯科技有限公司
