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摘要
电子级超纯水（Ultrapure water,UPW）是电子行业的基础性生产资料，需求量大且对水质要求极高[电阻率>18.2 MΩ·cm,TOC<5μg/L（以C计）]。随着中国电子行业自主化发展的要求，电子级超纯水需求量将持续增加，水质要求也将日趋严格。然而，中国在电子级超纯水制备领域面临3大关键难题：（1）关键材料设备与技术工艺被国外厂商垄断；（2）水质标准体系与检测能力全面落后；（3）电子级超纯水的多样化供水水源导致反渗透产水中电中性小分子有机物浓度升高且组分更复杂，加剧了电子级超纯水的制备难度。为此，提出应加快国产核心材料设备与关键技术工艺的研发、试验与应用工作，建立水质指标先进标准体系及领先检测方法和平台，开发新型超高标准技术设备与工艺，以实现多样化水源生产的3条解决思路，支撑中国电子级超纯水自主化制备。
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单位中国电子系统工程第二建设有限公司; 环境模拟与污染控制国家重点联合实验室; 清华大学; 清华大学深圳国际研究生院
