采用数值模拟方法,提出了一种能增强超分辨亚波长光刻的表面等离子体纳米共振腔,该腔采用间隙表面等离子体(gap surface plasmons,GSPs)单向激发.该空腔由光刻胶分隔的两个金属膜复合而成.论文研究了空腔深度和宽度对GSPs的相位调制影响规律以及透射光增强效应影响规律,得到了与非腔结构相比拟的曝光强度,分辨率远小于工作波长436 nm,仅为40 nm.
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