基于光流法和置信度法的单晶硅太阳能晶片缺陷检测方法

作者：刘屿; 潘文钊; 陈洋; 徐嘉明

来源：2020-10-10, 中国, ZL202011081248.7.

本发明公开了一种基于光流法和置信度法的单晶硅太阳能晶片缺陷检测方法,该方法首先基于电致发光技术获取原始的目标检测图像；然后使用中值滤波器对获取的原始目标检测图像进行预处理；接着使用基于光流法的缺陷粗检测算法对预处理之后的目标检测图像进行缺陷粗检测,从而提取出可能的缺陷区域,并得到相应的二值图像；最后使用置信度法对提取出的可能缺陷区域进行进一步的缺陷精确检测,通过计算每一个可能的小缺陷区域的区域置信度来判断该小缺陷区域是否属于实际缺陷区域,从而得到包含实际缺陷区域的二值图像。本发明公开的缺陷检测方法能在实际单晶硅太阳能晶片工业生产中以较高的准确率在线实时地检测出晶片缺陷,从而提高生产效率。

• 单位
  广州现代产业技术研究院; 华南理工大学