多自由度微位移工作台仿真的研究

作者：朱仁胜

来源：其他, 2004.

• 柔性铰链
• 微动工作台
• 有限元分析
• 逐步回归分析
• 人工神经网络建模
• 测试 Flexure hinge
• micro-displacement stage
• Finite element method (FEM)
• stepwise regression
• neural network model
• testing

本文通过先进的计算机辅助工程软件(CAD／CAE)探讨了柔性铰链参数的设计，从统计学原理运用正交试验表和回归理论导出了柔性铰链设计参数的数学模型。还运用人工神经网络的方法建立了精度更高的模型并且验证了回归分析的数学模型。 本文对多自由度微位移工作台进行了系统仿真的研究，分析了微位移工作台静、动态特性。应用ANSYS软件建立了工作台静、动态特性的分析模型，并分析了工作台的位移、应力以及振动的固有频率和振型，而且还应用正交试验表安排参数全面分析了结构参数对微位移工作台的静、动态特性的影响，并用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归，获得了微动工作台...