芯片式热重分析仪

来源：传感器世界, 2021, 27(08): 41.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2021.08.007

<正>海恩迈科技开发出基于悬臂梁上的实验室(Lab on a CantileverTM)技术的创新性仪器——芯片式热重分析仪。以MEMS自加热谐振式微悬臂梁传感芯片为核心,替代传统的天平+炉管加热方式,实现片上热重分析功能。这个基于全新原理的仪器将传统热重分析仪天平称重+炉管加热+热电偶测温的结构,用一个尺寸仅为2 mm×2.5 mm的MEMS谐振式微悬臂梁芯片替代,实现了片上热失重分析功能。