红外探测器装备技术研究现状

作者：周哲; 何鹏程; 黄帅波

来源：电子工艺技术, 2023, 44(05): 5-54.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2023.05.002

• 红外探测器
• 装备
• 晶片
• 碲锌镉

红外探测器作为红外探测系统的核心部件，在工业生产、食品安全检测、安保监控等民用领域和夜战精确打击等军用领域都得到了广泛应用。为了完成实现红外探测器国内自主全产业链开发，摆脱国外进口，装备技术的研发至关重要。概述了红外探测器制备工艺流程中所需主要装备的研究进展，从装备角度剖析了红外探测器行业发展面临的主要问题。

• 单位
  北京中电科电子装备有限公司; 中国电子科技集团公司第二研究所