NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展

作者：聂小亮; 兰中文; 孙科; 余忠

来源：材料导报, 2007, S3: 81-83+88.

• NiZn铁氧体薄膜
• 成膜技术
• 开发应用 NiZn ferrite thin films
• deposition technology
• development and application

综述了近10年来国内外NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展,并对其发展进行了展望。其中,溅射、喷雾热分解、脉冲激光沉积等技术得到了有效应用;而对一些新的工艺方法,如溶胶-凝胶法、超声波增强化学镀技术等也进行了深入的研究。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室