基于MEMS技术的SU-8胶被动微阀片的设计与研制

作者：耿照新; 崔大付; 马小玲

来源：纳米技术与精密工程, 2008, (05): 343-348.

DOI：10.13494/j.npe.2008.071

• 微机电系统
• 微阀
• 有限元
• SU-8 micro electro mechanical systems(MEMS)
• microvalve
• finite element analysis(FEA)
• SU-8

为解决微流体在微流控芯片上的单向流动,进而实现生化反应的片上系统,采用微机电系统(MEMS)技术加工出SU-8胶微型阀片.SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点.从理论上分析了不同厚度(10μm,15μm,20μm,25μm)的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布,在相同尺寸和压力下,SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右.讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性,可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素.给出了加工工艺,测试了阀片的正反向过流性能,以水作为工作物质,得到3种厚度阀片的过流曲线,其最大正向流速达到7000μL/...

• 单位
  中央民族大学; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所