光电性能可调的TiN薄膜及在TOPCon太阳电池的应用

作者：白宇; 何佳龙; 李君君; 苏荣; 陈涛; 俞健^*

来源：太阳能学报, 2023, 44(09): 72-77.

DOI：10.19912/j.0254-0096.tynxb.2022-0757

• 太阳电池
• 磁控溅射
• 电导率
• 氮化钛
• TOPCon

采用直流磁控溅射制备了光电性能可调的氮化钛（TiN）薄膜，TiN薄膜的透过率随沉积压强和氮气浓度升高而升高；电导率随溅射功率升高而升高、随沉积压强和氮气浓度升高而降低。TiN的可见光平均透过率为0%～60%，氮气浓度和沉积压强较低时制备的TiN薄膜具有优异的电导率（4000 S/cm）。将高电导率的TiN薄膜应用于隧穿氧化钝化接触太阳电池（TOPCon），改善了多晶硅层（Poly-Si）与银电极界面接触，提高了填充因子，为实现高效TOPCon太阳电池提供了有效途径。

• 单位
  材料学院; 西南石油大学