探测精度极限

来源：自动化博览, 2020, 37(02): 42-43.

<正>前言多功能烤箱、数字时钟、烤面包机和GPS导航设备有什么共同之处?这很简单:它们都依赖于从硅片制成的微芯片。在今天的消费市场中,想要找到一个不用微芯片的产品几乎是不可能的。应用的巨大带宽给半导体元器件开发人员提出了一项重大挑战。他们持续面临的压力是,如何将越来越多的功能集成到尺寸不断缩小的芯片上,与此同时还要降低生产成本。比如,你手腕上的智能手表比你在十年前使用的办公室电脑都要便宜但性能更强大。半导体材料薄片,被称为晶圆,包含超过1000