退火温度和涂膜层数对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜微结构及光学特性的影响

作者：袁欢; **; 黄勤珍; 刘以良; 张丽

来源：人工晶体学报, 2013, (03): 516-520+528.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2013.03.026

• ZnO薄膜
• 溶胶-凝胶
• 透射率
• 光致发光 ZnO thin films
• sol-gel
• transmittance
• photoluminescence

采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度和涂膜层数对ZnO薄膜结晶性和光学特性的影响。扫描电镜(SEM)结果表明,退火温度的升高使得薄膜致密性和均匀性均得到改善。旋涂10层以上的薄膜其表面形貌明显要好于旋涂5层的薄膜样品,但旋涂10层和20层的薄膜其形貌和微结构差异并不显著。XRD图谱表明所有样品都具有纤锌矿结构,随着热处理温度的升高,各衍射峰强度增大,晶粒尺寸变大。光致发光(PL)测量显示,退火温度越高,涂膜层数越少,其PL谱发光强度越强。紫外-可见透过谱发现,涂膜层数越少,透射率越高;而提高退火温度也有助于改善薄膜透射率。结合已得到的微结构信息,对观察到的光学性能进行了...

• 单位
  西南民族大学