特种气体的低温液化提纯装置

来源：低温与特气, 2019, 37(02): 52.

<正>申请(专利)号:201721105676. 2公开(公告)日:2018-05-01申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本实用新型涉及一种特种气体的低温液化提纯装置,该提纯装置包括依次通过气体管道相连的一原料瓶、一复合柱、一收集气瓶,所述原料瓶、复合柱、收集气瓶分别与抽真空管道相连,所述复合