场发射枪扫描电镜很多采用了半浸没式物镜,由于这种结构产生的外露磁场常使EBSD的菊池花样发生畸变,从而导致取向信息失真。本文介绍了3种可行的解决方法(低倍率模式、加大工作距离和磁场畸变校正)及3种方法的适用范围,该研究也解决了半浸没式物镜电镜做EBSD测试的限制。
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