快速热处理的[Fe/Pt]n薄膜的结构和磁性

作者：张玉梅; 贺凇莹; 于娜

来源：吉林化工学院学报, 2018, 35(09): 111-114.

DOI：10.16039/j.cnki.cn22-1249.2018.09.025

• [Fe/Pt]n薄膜
• 结构
• 磁性

采用直流磁控溅射方法在Si基片上制备[Fe/Pt]n薄膜,利用X射线荧光光谱仪(XRF)、X射线衍射仪(XRD)和振动样品磁强计(VSM)分析薄膜的组分、结构和磁性.研究结果表明:[Fe/Pt]n薄膜经过600℃快速热处理,得到了L10-Fe Pt薄膜.对于[Fe(x nm)/Pt(0.5 nm)]n薄膜,当Fe层厚度为0.7 nm时,薄膜的有序度最大,平行膜面和垂直膜面的矫顽力均最高;对于不同调制周期的[Fe/Pt]n薄膜,有序度随调制周期先增大后减小,平行膜面的矫顽力均高于垂直膜面的矫顽力,当调制周期为2.4 nm时,薄膜平行膜面的矫顽力最大.

• 单位
  吉林师范大学