氧化钒薄膜光伏效应机理分析

作者：卢小铃; 王涛; 李贺; 董翔; 顾德恩; 蒋亚东

来源：红外, 2011, (05): 14-18.

• 氧化钒薄膜
• 退火
• 光伏效应
• Dember效应
• 场制表面电压 oxide vanadium thin film
• annealing
• photovoltaic effect
• Dember effect
• electric field induced surface voltage

氧化钒薄膜是非致冷红外焦平面探测器的重要组成部分,光电特性一直是国内外的研究热点。用反应磁控溅射方法在K9玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜,并在特定条件下对其进行了退火处理。结果发现,在300℃下退火180s的氧化钒薄膜在可见光照射情况下呈现出了光伏效应,这说明光生载流子在氧化钒薄膜表层形成后得到了有效分离。该光伏特性为氧化钒薄膜在光电探测器中的应用拓展提供了有力的理论依据。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 光电信息学院; 电子科技大学