还原炉倒棒原因及改进措施研究

作者：李有斌; 陈叮琳; 俞朝

来源：中国石油和化工标准与质量, 2022, 42(03): 47-49.

• 还原炉
• 沉积
• 倒棒

还原炉作为生产多晶硅的关键设备,生产多晶硅过程中常常出现倒棒现象,对还原炉产生严重损坏,重点针对硅棒沉积前期、中期、后期三个阶段倒棒的危害、原因进行分析,从还原炉喷嘴分布和大小、电极结构、石墨卡头结构、硅芯尺寸等方面进行改进,有利于降低还原炉硅棒倒棒率,提高生产效率,降低对还原炉设备的损坏。