一种涡旋型出气的平面静压气浮轴承

作者:李维诗; 杨森雨; 曹鹏飞; 夏豪杰
来源:2022-07-27, 中国, ZL202210892198.3.

摘要

本发明公开了一种涡旋型出气的平面静压气浮轴承结构。本发明的平面静压气浮轴承结构采用一种新型涡旋发生结构代替传统的小孔节流,改变了高压气体垂直于导轨流出节流孔的节流方式,可以有效抑制高压气体撞击导轨后速度大小和方向产生的突变。本发明降低了气浮轴承工作时的微振动,提高了气浮轴承综合性能。