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摘要
为实现光学元件磁流变高精度加工，基于脉冲迭代原理，提出基于粒子群算法的驻留时间优化方法。该方法在脉冲迭代法的基础上引入粒子群算法对整体面型残差进行优化，通过对整体驻留时间的判定，从而实现每个驻留时间点的最优选择，达到高精度面形加工。通过对Φ156 mm光学表面仿真加工，均方根(RMS)值和峰谷(PV)值从初始的169.164和1 161.69 nm收敛到23.492 5和807.215 6 nm。仿真结果表明，该算法能在保证面形收敛精度的同时快速获得稳定可靠的驻留时间分布，能有效降低中频误差，其算法性能优于常用的脉冲迭代法。该算法为磁流变抛光光学元件过程中的驻留时间计算提供了一种解决方案。
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