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摘要
三叉神经痛是发生于脸部三叉神经分布区的骤然剧烈的疼痛，临床中医生主要通过感觉检查等方法诊断，缺乏准确性与系统性。运用Comsol Multiphysics仿真软件设计一种MEMS电容压力传感器，可用于三叉神经痛阈检测仪前端的压力传感探头对患者的压痛阈值进行采集，帮助医生诊断患者病情。通过对设计的压力传感器的受力进行物理场的模拟仿真及分析，结果表明，在固定外界压强0～2.5 kPa时，此传感器灵敏度可达1.05×10~(-4)pF/Pa，并且具有良好的线性度。通过硬件实验，最终可在液晶显示器上显示出采集到的压力值，满足三叉神经痛阈检测仪前端的压力采集探头对压力信号采集的要求。
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