光掩膜石英玻璃基板的制造工艺概述

作者：陈娅丽; 沈建明; 汤明明; 王蒙非; 钱宜刚; 丁杰; 马俊逸

来源：玻璃搪瓷与眼镜, 2021, 49(04): 39-43.

DOI：10.13588/j.cnki.g.e.2096-7608.2021.04.009

• 光掩膜石英玻璃基板
• 石英锭熔制
• 热加工工艺
• 冷加工工艺

光掩膜石英玻璃基板是光掩膜技术中的上游产品,广泛应用于半导体和光学等领域。随着半导体器件的集成化发展,对光掩膜石英玻璃基板的技术要求也越来越高。为满足市场需求,光掩膜石英玻璃基板的制造工艺也在不断改进,包括材料石英锭的熔制、热加工和冷加工等工艺。本文对光掩膜石英玻璃基板主要的制造工艺作出探究,提出一套石英玻璃基板的生产工艺流程。该工艺流程在实际中验证了可行性,可以为光掩膜石英玻璃基板的生产与研制提供借鉴。