光电印制板中高耦合效率垂直耦合结构设计

作者:来新泉; 张莹; 王一鸣; 刘晨
来源:电子工艺技术, 2018, 39(03): 125-153.
DOI:10.14176/j.issn.1001-3474.2018.03.001

摘要

针对目前光电印制板(OEPCB)中光电器件与光波导对接的垂直耦合结构耦合效率较低的问题,分析了传统嵌入式45°反射微镜的垂直耦合结构,提出了一种新的垂直耦合结构。利用MATLAB仿真验证新垂直耦合结构具有更高的垂直耦合效率,并结合PCB生产工艺给出新垂直耦合结构光波导层的制备方案。研究表明新结构对光电对准精度要求不高,受传统PCB制作工艺的层压高温高压影响更小,便于兼容传统PCB制作工艺。

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