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HTCC整平机的设计
作者:王亚君; 马红雷
来源:
电子工业专用设备
, 2020, 49(04): 33-36.
高温共烧陶瓷(HTCC)
整平机
填孔设备
凸点
摘要
介绍了HTCC背景、工艺流程及整平工艺的技术要求,从机械及电气方面分别详细介绍了整平机的设计过程,并通过工艺验证设计的正确性。
单位
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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