基于In2O3的高灵敏度乙醇气体传感器

作者：杜帅航; 王开松; 张文惠^*; 沈超; 许宁

来源：微纳电子技术, 2020, 57(11): 894-898.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2020.11.006

• 气体传感器
• In2O3
• 冰醋酸
• 溶剂热法
• 纳米材料

采用溶剂热法制备了不同形貌的In2O3纳米材料,利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品进行了表征和分析,并研究了冰醋酸的添加量对In2O3传感器气敏性能的影响。研究结果表明:通过调控冰醋酸的添加量不仅可以改变In2O3纳米材料的晶相及形貌,还可以优化In2O3传感器对乙醇的气体传感性能。添加浓度为0.45 mol/L的冰醋酸辅助合成的In2O3传感器气敏性能最好,在250℃的工作温度下对体积分数为5×10-5乙醇的响应值高达141,并对体积分数低至5×10-6的乙醇的灵敏度高至7.7。同时,该材料对乙醇表现出良好的重复性和稳定性,这对长期检测乙醇具有重要的应用价值。

• 单位
  安徽理工大学; 盐城工学院