陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法

来源：传感器世界, 2020, 26(10): 56.

<正>申请号:202010140011.5【公开号】CN111220320A【公开日】20200602【分类号】G01L21/00【申请日】20200303【申请人】中科九微科技有限公司【发明人】张心强;陈林【摘要】本发明提供的陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法,属于薄膜传感器技术领域,其中,陶瓷电极包括:陶瓷基底、定电极层和支撑结构,