MEMS压力传感器技术最新进展

作者：李昕昕

来源：功能材料与器件学报, 2013, 19(04): 172-176.

• 压力传感器
• 加速度传感器
• 传感器结构
• 压力传感器阵列

<正>笔者在刚刚于西班牙巴塞罗那结束的国际固态传感器大会Transducers 2013上担任了压力传感器Session的主席,对现场七个口头报告有了最直接的接触,据此可以体会到MEMS压力传感器技术对全球最新进展,于下面顺序介绍。台湾的Asia Pacific Microsystems公司与台湾清华大学合作研发了汽车TPMS传感器(论文题目:NOVEL TPMS SENSING CHIP WITH PRESSURE SENSOR EMBEDDED IN ACCELEROMETER)。如图1所示,为了减小芯片尺寸,将压力传感器部分制作在压阻加速度传感器的质量块中。采用CavitySOI工艺并结...

• 单位
  中科院上海微系统与信息技术研究所