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摘要
集成电路是电子信息产业的基础,已成为衡量一个国家或地区综合竞争力的重要标志。为了满足对高效能计算、大容量存储、极低功耗通信的发展需求,基于新型材料与器件创新的集成电路技术仍是不可或缺的强大基石。随着中国经济社会发展的转型,集成电路产业的基础性、战略性、先导性作用日益凸显。我国的集成电路制造工艺与器件产业取得了显著的成就,研发水平逐步与国际先进水平缩短差距。未来几十年,集成电路技术仍将持续演进,器件尺寸微缩、三维集成,以及架构创新等技术将推动芯片能效比的持续提高,带来计算能力指数级提升和网络应用爆发式增长。《微纳电子与智能制造》有幸采访到中国工程院院士、浙江大学微纳电子学院院长吴汉明为读者讲述集成电路制造工艺与器件领域的研究进展。
