为了在不锈钢双极板上沉积导电耐蚀的防护型薄膜，采用等离子体增强化学气相沉积复合磁控溅射技术，以温度为变量，在304不锈钢表面沉积掺铬类石墨(Cr-GLC)多层薄膜，并进行原位石墨化调控。实验结果表明，随着制备温度升高，薄膜有一定石墨化倾向，薄膜接触电阻降低，自腐蚀电位升高，薄膜与基体结合良好。395℃制备的Cr-GLC薄膜接触电阻低至17 mΩ·cm2，自腐蚀电位为173.3 mV，具有良好的综合性能。
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