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摘要
小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术,它是随着MEMS技术的发展而发展起来的。将微波等离子体结合MEMS工艺可使微等离子体的结构和特性发生巨大的改变。 这种微波微等离子体与其它形式的微等离子体相比,具有很多突出的优点,如结构简单、使用寿命长、状态稳定,而且无电极污染,本课题的研究意义在于：通过模块化的设计做到了集小型、便捷的有源集成,同时也顺应了当今MEMS技术的发展趋势。 在小功率微波微等离子体源中,微等离子体激励所需的微波功率很小,一般只有几百毫瓦,甚至几十毫瓦,因此功率源可以与辐射单元进行系统集成。本...
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