Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8 δ)薄膜的分子束外延法制备及结晶性

作者：张炳森; 李茂林; 王晶晶; 孙本哲; 祁阳

来源：金属学报, 2009, 45(06): 663-672.

• Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8 δ)薄膜
• 分子束外延
• 衬底温度
• 臭氧分压
• 生长速率
• 错配度 Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8 δ) thin film
• molecular beam epitaxy
• substrate temperature
• ozone partial pressure
• growth rate
• mismatch

在BiO-(Sr+Ca)O-CuO相图上的Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)(Bi-2212)相附近选择不同成分,用分子束外延法制备成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究了成分、衬底温度和臭氧分压对Bi-2212相薄膜成相的影响,分析了生长速率和错配度对Bi-2212相薄膜质量的影响。结果表明,Bi-2212相薄膜单相生成的成分范围(原子分数)分别为Bi 26.3%—32.4%, (Sr+Ca)37.4%—46.5%,Cu 24.8%—32.6%;当衬底温度为720℃且臭氧分压为1.3×10~(-3)Pa时,在MgO(100)衬底上生长出质量较高的c轴外延Bi-2212相薄膜;...

• 单位
  东北大学