聚焦离子束加工技术在元器件可靠性领域中的应用研究

作者：崔帅; 曹德峰; 李志勇; 陈斌

来源：环境技术, 2016, 34(02): 26-30.

• FIB
• 结构分析
• 失效分析
• TEM制样

FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可缺少的分析技术;能够进行纳米器件加工,是微加工领域的一种新型技术。FIB技术可操作性强、样品损伤小,对航天型号元器件可靠性质量保证技术具有一定的指导意义。

• 单位
  上海微小卫星工程中心; 中国科学院