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摘要
本发明属于微电子技术领域,为ZnO基三明治结构的自供电紫外探测薄膜及其制备方法,制备方法包括：在带有电极层的基底上制备ZnO种子层,得到带有ZnO种子层的基片；在ZnO种子层表面生长ZnO纳米柱,得到带有半导体材料ZnO纳米柱的基片；将上一步所得到的基片进行退火处理；在上一步所得到的基片上沉积PEDOT:PSS层,得到自供电紫外探测薄膜。所述薄膜在紫外照射后,其电流从基态的纳安级别上升到微安级别,并能在紫外光关闭后电流值能迅速回到基态的纳安级别,此过程可循环重复且在紫外灯照射下,电流没有明显的衰减,这种性能可保持2-3个月。本发明成本更低且更易得,制备工艺更简单,光响应性能更优越,适用性较强。
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