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摘要
本发明公开了金属工件表面碳基薄膜的褪镀方法,先去除钢铁基体工件表面油性污染物；然后将预处理后的工件固定在含空心阴极离子源的真空镀膜系统真空室内部工件架上,安装导入工作气体的入气管道,通入氧气时获得氧等离子体；采用离子源产生的氧等离子体轰击样品表面,再将离碳基涂层的工件放入弱酸性浸泡液浸泡后漂洗干净。本发明氧等离子体轰击过程可将碳基涂层完全剥离,剥离速率可达到0.5#1.0微米/小时；且碳基表面层剥离过程中由于氧化保护,在涂层磨损处或剥落处得到保护,适当的氧离子密度和能量不会导致这些部位的过分刻蚀。
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