沉积条件对ZnTe/ZnTe:Cu薄膜结构及CdTe电池性能的影响

作者:仲政祥; 郑家贵; 钟永强; 杨帆; 冯良桓; 蔡伟; 蔡亚平; 张静全; 黎兵; 雷智; 李卫; 武莉莉
来源:Acta Physica Sinica, 2009, 58(07): 4920-4924.

摘要

用共蒸发法沉积了ZnTe/ZnTe:Cu复合多晶薄膜,通过XRD,XPS,C-V,I-V等研究了沉积温度对薄膜结构、Cu浓度分布及电池性能的影响.结果表明,沉积温度对薄膜的结构影响不明显,薄膜呈立方相,经185℃退火后出现了六方相.对薄膜的剖析发现,Cu浓度分布呈现先上升到一极大值而后快速下降的趋势,100℃沉积的ZnTe/ZnTe:Cu薄膜,ZnTe层起到了阻止Cu扩散作用,用这种薄膜制作的太阳电池XD较大,电容较小,二极管特性较好,具有较高的转换效率.