光学元件表面缺陷干涉检测的定量分析拓展

作者：张磊; 孙静静; 周胜; 李劲松

来源：大学物理实验, 2020, 33(03): 22-26.

DOI：10.14139/j.cnki.cn22-1228.2020.03.005

• 干涉检测
• 全场缺陷
• 干涉图

光学干涉通常被应用于光学平面表面缺陷检测。传统大学物理教材中仅对局部微小缺陷给出了近似的定量分析,而对全表面形变未给出定量分析。本文对上述干涉检测问题进行了拓展,对全场缺陷做出定量分析,旨在对学有余力的同学进行知识拓展。