为保证高温工作条件下旋转机械温度的实时直接监测，研究了声表面波无线无源测温方法中电极结构参数对温度测量特性的影响。采用多物理场耦合的有限元模型对硅酸镓镧基底的高温声表面波温度传感器进行模拟，分析了电极厚度和宽度对传感器温度测量特性及无线传输特性的影响，获得了高温工况下传感器电极优化设计参数。结果表明：电极厚度对品质因数Q的影响大于电极宽度；对谐振频率、机电耦合系数K2和品质因数Q进行综合分析，在高温测量下归一化厚度应该选择在0.5%～1.0%范围内，金属化率应该选择在0.5附近。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
