摘要
通过X射线衍射(XRD)分析、拉曼光谱(Raman)分析、热膨胀系数以及维氏硬度等测试,探究了ZrO2对微通道板铅硅玻璃的结构和性能等方面的影响。研究表明,引入8%(质量分数,下同)以内的ZrO2可实现无析晶微通道板用铅硅玻璃的制备。玻璃中桥氧键的振动强度随ZrO2含量的增加出现先增加后降低的变化趋势,对应热膨胀系数呈先降低后增加的变化趋势。ZrO2含量为2%时,玻璃中桥氧含量达到最大,对应玻璃的热膨胀系数最小为80.5×10-7℃-1,此时微通道板耐离子轰击能力比无锆微通道板提高了33%。玻璃的维氏硬度随ZrO2含量的增加逐渐变大,且ZrO2含量低于5%时,维氏硬度变化较为明显。ZrO2含量为8%时,玻璃的维氏硬度最大为5.1 GPa。
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