柱栅传感器是一种新型的直线位移数字式传感器,它来源于对直线式感应同步器的改进设想。柱栅概念样机研制的完成,证实了其设计思路的正确性与合理性。柱栅全连续化绕组的设计完全消除了分段绕组固有的端部效应。通过柱栅传感器实验样机的设计和制造及其相关测试,结果表明:该实验样机具有良好的空间正交性,测量系统误差小,达到了预期的效果,可以应用于精细位移测量。介绍了柱栅传感器实验样机的基本结构、研制和实验。进而验证了柱栅传感器的功能和使用性能。
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