调制比对电弧离子镀Cr/TiN纳米多层膜力学性能的影响

作者：吴彦超; 刘豫瑶; 刘洋; 高晟元; 黄美东^*

来源：真空, 2021, 58(02): 10-14.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.02.03

• 电弧离子镀
• Cr/TiN纳米多层膜
• 硬度
• 调制比

采用电弧离子镀技术,通过改变调制比沉积Cr/TiN纳米多层膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪研究了调制比对Cr/TiN纳米多层膜表面形貌、微观结构以及力学性能的影响。结果表明,纳米多层膜表面致密、平滑均匀,膜层与基底结合良好,膜层综合力学性能优异,出现明显的纳米效应和界面效应。当调制比为2∶3时,纳米多层膜的硬度达最大值33.22GPa。

• 单位
  天津师范大学