衍射极限一直是传统光学成像系统的一大限制。本文提出了几种能够使表面等离子体激元聚焦的金属表面微纳结构,研究了如何通过设计此类结构来调控表面等离子体激元的聚焦效果。本文设计的结构实现了在633nm波长的激光光源照射下得到半高全宽为180nm的聚焦光斑,突破了衍射极限,实现了超分辨显微的目的。
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