为实现大气中露点温度的精确测量,提出一种基于MEMS及BP PID控制算法的露点仪。为提高测量精度,采用24位Σ-Δ电容数字转换器进行电容测量,并设计了基于电位差计式电桥的低噪声测温电路。软件设计中,为提高测量、信号处理、通讯等任务的效率及稳定性,移植了FreeRTOS操作系统,提出一种基于BP神经网络的PID控制算法对半导体制冷器进行功率控制,提高了参数自适应能力及响应速率。与Michell公司的计量级冷镜式露点仪比对结果表明,该系统的测量精度达±0.2℃。
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