基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作

作者：冯飞; 焦继伟; 熊斌; 王跃林

来源：光学学报, 2004, (10): 1375-1380.

• 　光读出热成像
• 法布里珀罗微腔
• 微机电系统
• 热-机械灵敏度 optically readable thermal imaging
• Fabry-Perot micro-cavity
• microelectromechanical system
• thermo-mechanical sensitivity

提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完成了可动微镜结构、热机械、可见光读出部分设计。理论分析表明 ,对Al/SiO2 双材料体系而言 ,SiO2 厚度应大于 0 .3μm ,其最佳厚度比为 0 .5 98,相应的最大热 机械灵敏度可达 10 -8m/K。采用体硅微机电系统技术 ,实验制作出了 5 0× 5 0焦平面阵列。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 传感技术国家重点实验室