以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究

作者：李宪林; 黄柏标; 朱宝富; 于永芹; 尉吉勇; 秦晓燕

来源：人工晶体学报, 2004, (02): 201-204.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2004.02.017

• 氧化锌
• 乙醇
• MOCVD
• 温度
• 光谱 ZnO
• ethanol
• temperature
• spectrum

本文探索了以乙醇为氧源通过MOCVD方法生长ZnO薄膜的方法,着重研究了该实验中生长温度对薄膜发光光谱的影响。我们分别在350℃、370℃、380℃、400℃和420℃温度下生长了ZnO薄膜,并对其发光光谱进行了研究。结果表明适当地提高生长温度可以使近带边发光峰蓝移,但温度过高,使得峰位红移并展宽。在380℃的生长条件下得到了较好的光谱。370℃条件下还出现了474nm的发光峰,经退火后此峰消失。